Правительство Москвы

Московская торгово-промышленная палата

Группа компаний ITE

АО «Российская электроника»

ОАО «Научно-исследовательский институт вакуумной

техники им. С.А. Векшинского»

Московский государственный технический университет

им. Н.Э. Баумана

Российское научно-техническое вакуумное общество

Секция 1. Вакуумные технологии и оборудование.

Председатель: Бурмистров А.В.

Секция 2. Новые технологии формирования тонких пленок.

Методики и исследования. Технологическое оборудование.

Председатель: Горин А.В.

Секция 3. Нанотехнология и биотехнология.

Председатель: Слепцов В.В.

Секция 4. «Вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс».

Председатель: Васильев Ю.К.

Секция 5. Криогенная и криовакуумная техника.

Председатель: Лунин А.И.

Оргкомитет конференции

председатель

С.Б. Нестеров             Заместитель генерального директора по научной работе

                                       ОАО «НИИВТ  им. С.А. Векшинского», заместитель Председателя

                                       Совета РНТВО

Члены оргкомитета

Секция 1. Вакуумные технологии и оборудование

14 апреля, 10.15

1.     А.В.Бурмистров, А.В. Гаврилов, С.И. Саликеев, И.Ш. Гимадиев,       *Е.Н. Капустин. Казанский национальный исследовательский технологический университет, Россия, Республика Татарстан,  Казань. * ОАО «Вакууммаш», Казань.  Исследование состава остаточного газа безмасляных спиральных вакуумных насосов.

2.     А.В. Бурмистров, С.И. Саликеев, *Е.Н. Капустин. Казанский национальный исследовательский технологический университет, Россия, Республика Татарстан,  Казань.* ОАО «Вакууммаш», Казань. Этапы разработки типоразмерного ряда отечественных безмасляных спиральных вакуумных насосов.

3.     А.Н. Алексеев. ЗАО «НТО», Санкт-Петербург. Разработка вакуумно-технологического оборудования в ЗАО «НТО» (SemiTEq).

4.     В.Ю. Антонов. ЗАО «Интек Аналитика», Санкт-Петербург. Вакуумные инновации от компании Edwards.

5.     В.И.Сафонов. OOO «Технический центр «ВИНДЭК», Подольский р-н, Московской обл. Вакуум-нагнетательные установки для пропитки обмоток электротехнических изделий.

6.     О.К. Курбатов, С.Б. Нестеров, П.Л. Толмачёв. ОАО «НИИВТ им.С.А.Векшинского», Москва. Импортозамещающая и энергосберегающая трубопроводная арматура с DN от 10 до 125 мм: вакуумная, газовая и гидравлическая.

7.      А.С.Кривенко, М.П. Коверзнев. ООО «Вакуумные системы и электроника»,  Новосибирск. Кастомизация при изготовлении вакуумных камер.

8.     Презентация продукции фирмы Zhongshan Kaixuan Vacuum Technology&Engineering Co.,Ltd. Leo. Yongfeng Industrial Zone, Henglan town, Zhongshan City, Guangdong Province, China.

9.     И.И. Левин, С.Б. Симакин. ООО «ИОНТЕК-нано», Москва. Установки конфокального магнетронного напыления пленочных покрытий «КРАУДИОН».

10.  Д.М. Фомин. ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»,  Санкт-Петербург. Метрологическое обеспечение течеискателей масс-спектрометрических гелиевых.

11. C.А. Бушин. ФГУП «ВНИИА им. Н.Л.Духова», Москва. Опытный образец оборудования для высокочувствительных испытаний на герметичность малогабаритных разрядников.

12. В.Т. Барченко, М.Л. Виноградов. СПбГЭТУ "ЛЭТИ", Санкт-Петербург. Расчет допустимого потока течи для промышленных изделий.

13. С.В. Федоров, *^,*А.Б. Марков, *Е. В. Яковлев. ГБОУ ВПО МГТУ «СТАНКИН», Москва. *ООО «Микросплав»,  Томск. **ФГБУН Институт сильноточной электроники СО РАН,  Томск. Электронно-пучковое легирование поверхности инструментальных материалов и оборудование для его реализации.

14.  Д.Д. Васильев, К.М. Моисеев. МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва. Технология формирования диоксида кремния реактивным ВЧ магнетронным распылением.

15. Е.А. Митрофанов, *М.Э. Яковлев.  ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского», Москва.  *МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва. Исследование микротвердости упрочняющих тонкопленочных покрытий из карбида кремния.

16. Р. А. Каракулов, В. Н. Ильин, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов. МГТУ им. Н. Э. Баумана, Москва. Металлизация алмазных дисков методом вакуумного дугового осаждения.

17. А.С. Бабурин, А.А. Доброносова, К.М. Моисеев. МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва. Реализация ионного ассистирования в процессе осаждения пленок магнетронным распылением на установке МВТУ-11-1.

18.  В.М. Шулаев, А.П. Редкокаша,   Д.А. Листопад. ООО «НПП «НИТТИН»,  Белгород. Вакуумные электропечи торговой марки «НИТТИН» для решения проблем термической обработки на примере закалки в масло.

19. В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов, В.М. Долгополов, П.А. Иракин, В.Э. Немировский. ОАО “НИИ точного машиностроения”.  Москва, Зеленоград. Глубокое анизотропное травление кремния на установке “МВУ ТМ ПЛАЗМА 06”.

20. Ю. К. Васильев.  ООО «ТЕРЛА», Москва. Новая продукция компании «ТЕРЛА».

21. О.Д. Амелина, С.Б.Нестеров.  ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского», Москва. Физико-химические свойства порошка оксида магния, получаемого термическим разложением кристаллогидрата магнийсодержащей соли, на примере нитрата магния.